

1. ออกแบบมาสำหรับการมาร์ค ID บนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ รองรับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วและ 8 นิ้ว
2. เหมาะสำหรับวัสดุเวเฟอร์ที่ใช้กันทั่วไป ได้แก่ Si, GaAs และ SiC
3. ทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ พร้อมโมดูลกรอง FFU
4. ติดตั้งหุ่นยนต์สองแขน; สามารถเลือกติดตั้งโมดูลป้อนชิ้นงาน SMIF
5. เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI และรองรับโปรโตคอลการสื่อสาร SECS/GEM
ส่วนใหญ่ใช้สำหรับการมาร์ค ID บนเวเฟอร์ขนาดไม่เกิน 12 นิ้วที่ผลิตจาก Si, GaAs, SiC, EMC, โซลเดอร์มาสก์ และวัสดุอื่น ๆ