เครื่องมาร์ค ID เวเฟอร์ด้วยเลเซอร์อัตโนมัติ

HDZ-9222

คุณสมบัติเครื่องจักร

1. รองรับเวเฟอร์ขนาดไม่เกิน 8 นิ้ว; สามารถเลือกติดตั้ง Load Port ที่รองรับเวเฟอร์ 12 นิ้ว

2. แขนกลสองแขน ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการประมวลผล

3. ติดตั้งชุดจัดแนวเฉพาะ สามารถตั้งตำแหน่งการมาร์คบริเวณขอบได้อย่างยืดหยุ่น

4. กลไกโฟกัสแบบไฟฟ้า สามารถปรับความสูงตามความหนาของผลิตภัณฑ์

5. แขนกลติดตั้งฟังก์ชัน Mapping สำหรับตรวจจับเวเฟอร์ซ้อนและเวเฟอร์ที่เยื้องตำแหน่ง

เอฟเฟกต์ประมวลผลนิค

รุ่นเครื่อง	HDZ-9222
ความยาวคลื่นเลเซอร์	แหล่งกำเนิดเลเซอร์ UV, เลเซอร์สีเขียว และเลเซอร์อินฟราเรด 355 nm, 532 nm, 1064 nm
รูปแบบการป้อนชิ้นงาน	แขนกลสองแขน
วิธีการระบายความร้อน	การระบายความร้อนด้วยอากาศ / การระบายความร้อนด้วยน้ำ
ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งซ้ำของการประมวลผลขั้นสุดท้าย	±0.1 mm
ประเภทผลิตภัณฑ์ที่ประมวลผล	เวเฟอร์ขนาดไม่เกิน 8 นิ้ว (สามารถเลือกติดตั้ง Load Port ที่รองรับเวเฟอร์ 12 นิ้ว)
จำนวนเวเฟอร์ที่ประมวลผลต่อชั่วโมง	120–150 เวเฟอร์/ชั่วโมง
รูปแบบไฟล์ที่รองรับ	DXF, PLT
แหล่งจ่ายไฟ	AC 220 V, 50/60 Hz
แหล่งจ่ายลม	0.6–0.8 MPa
ขนาดโดยรวม	2000 mm × 1200 mm × 1850 mm