เครื่องมาร์ค DIE เวเฟอร์ด้วยเลเซอร์อัตโนมัติ

HDZ-9121

คุณสมบัติเครื่องจักร

1. รองรับกระบวนการมาร์คด้านหน้าและด้านหลังของเวเฟอร์ รวมถึงกระบวนการมาร์คไดเปลือยและการมาร์คทะลุฟิล์ม

2. ทำงานแบบอัตโนมัติ พร้อมแขนกลสองแขน ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการประมวลผลผลิตภัณฑ์

3. ระบบตรวจวัดกำลังเลเซอร์ช่วยให้มั่นใจว่าผลการประมวลผลมีความสม่ำเสมอ

เอฟเฟกต์ประมวลผลนิค

รุ่นเครื่อง	HDZ-9121
ความยาวคลื่นเลเซอร์	แหล่งกำเนิดเลเซอร์ UV และเลเซอร์สีเขียว 355 nm, 532 nm
ความสูงตัวอักษรขั้นต่ำ	0.15 mm
วิธีการระบายความร้อน	การระบายความร้อนด้วยน้ำ
ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งซ้ำของการประมวลผลขั้นสุดท้าย	±0.05 mm
ประเภทผลิตภัณฑ์ที่ประมวลผล	เวเฟอร์ขนาดไม่เกิน 12 นิ้ว
รูปแบบไฟล์ที่รองรับ	DXF, PLT
รองรับ SECS/GEM	รองรับ (อุปกรณ์เสริม)
แรงดันไฟฟ้า	AC 220 V, 50 Hz
แหล่งจ่ายลม	0.6–0.8 MPa
ขนาดโดยรวม	2500 mm × 1900 mm × 2200 mm