เครื่องตัดเวเฟอร์ด้วยเลเซอร์

HDZ-WUVC100

คุณสมบัติเครื่องจักร

1. เลเซอร์ UV ความยาวคลื่น 355 nm มีสมรรถนะเสถียรในระยะยาวและจุดลำแสงคุณภาพดี

2. โต๊ะทำงานแกน X-Y-Z-θ ที่มีความน่าเชื่อถือและความแม่นยำสูง มีสมรรถนะการเร่งและลดความเร็วที่ยอดเยี่ยม ช่วยเพิ่มผลิตภาพ

3. ยึดเวเฟอร์ด้วยสุญญากาศระหว่างการเคลื่อนที่ของแท่น

4. กำหนดตำแหน่งเวเฟอร์ด้วยการกำหนดตำแหน่งจากจุดมาร์กบนเวเฟอร์ เพื่อรับประกันความแม่นยำในการตัด

5. ระบบซอฟต์แวร์สำหรับการใช้งานที่มีประสิทธิภาพสูงและยืดหยุ่น พร้อมอินเทอร์เฟซที่เรียบง่ายและกระชับ

6. การโหลด/อันโหลดอัตโนมัติ การลำเลียงด้วยหุ่นยนต์ และการตรวจจับขอบอัตโนมัติ

รองรับการตัดเวเฟอร์ขนาด 2 นิ้ว 4 นิ้ว 8 นิ้ว และ 12 นิ้ว

เอฟเฟกต์ประมวลผลนิค

รุ่นเครื่องจักร	HDZ-WUVC100	HDZ-WUVC200
กำลังเลเซอร์	15 W	15 W
ความยาวคลื่นเลเซอร์	355 nm	355 nm
ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งซ้ำของแกน XY	±1 µm	±1 µm
ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งซ้ำของแกน θ	±15 s	±15 s
ความกว้างแนวตัด	>15 µm	>15 µm
ความลึกการตัด	>25 µm	>25 µm
ความเร็วในการตัด (*ความเร็วในการตัดแตกต่างกันไปตามผลิตภัณฑ์)	100 mm/s	100 mm/s
รูปแบบการโหลดและอันโหลด	แบบแมนนวล	การลำเลียงด้วยหุ่นยนต์; การตรวจจับขอบอัตโนมัติ
ประเภทผลิตภัณฑ์ที่แปรรูป	เวเฟอร์ขนาด 2-12 นิ้ว	เวเฟอร์ขนาด 2-12 นิ้ว
แรงดันไฟฟ้าจ่าย / ข้อกำหนดทางไฟฟ้า	AC 220 V，50 Hz	AC 220 V，50 Hz